190-400nm紫外波段SID4 UV-HR免費(fèi)試用!

紫外波段SID4 UV-HR免費(fèi)試用

Phasics波前傳感器以橫向四波剪切技術(shù)聞名，其推出的SID4系列波前傳感器以高靈敏度、高分辨率、高重復(fù)性的特點(diǎn)更受市場(chǎng)青睞，昊量光電推出免費(fèi)試用-紫外波段SID4-UV HR樣機(jī)活動(dòng)，為190nm-400nm紫外波段科研方向研發(fā)助助力，為中國(guó)工業(yè)提提速！

PHASICS成立于2003年，提供zui先jin的光學(xué)計(jì)量和成像解決方案，從獨(dú)立的SID4波前傳感器到全自動(dòng)測(cè)試臺(tái)、Kaleo MTF、MultiWAVE，以及全模塊化計(jì)量解決方案Kaleo Kit。PHASICS獲得專li的波前傳感技術(shù)被稱為四波橫向剪切干涉術(shù)（QWLSI）。

相位四波橫向剪切干涉儀，稱為SID4波前傳感器，QWLSI技術(shù)是為了克服Shack-Hartmann (SH)技術(shù)的分辨率不足而開(kāi)發(fā)的。它采用了智能衍射光柵設(shè)計(jì)，而不是哈特曼測(cè)試中使用的孔和夏克在20世紀(jì)60年代提出的微透鏡。

圖1 SID4波前傳感器部分測(cè)試結(jié)果圖

★什么是波前傳感器?

波前傳感器是一種設(shè)計(jì)用來(lái)測(cè)量光波前的裝置。術(shù)語(yǔ)“波前傳感器";適用于不需要任何參考光束干擾的波前測(cè)量?jī)x器。波前傳感器的應(yīng)用范圍很廣，如光學(xué)測(cè)試和對(duì)準(zhǔn)(表面測(cè)量)、傳輸波前誤差測(cè)量、調(diào)制。

★QWLSI四波橫向剪切干涉測(cè)量原理

四波橫向剪切干涉測(cè)量(QWLSI原理) 具有納米級(jí)靈敏度和高分辨率的相位和強(qiáng)度。這項(xiàng)創(chuàng)新技術(shù)依靠衍射光柵將入射光束復(fù)制成4個(gè)相同的波。經(jīng)過(guò)幾毫米的傳播，4個(gè)波紋重疊并干涉，在檢測(cè)器上產(chǎn)生干涉圖。

★QWLSI四波橫向剪切干涉技術(shù)優(yōu)勢(shì)

四波橫向剪切干涉測(cè)量技術(shù)(QWLSI)，也被稱為改進(jìn)哈特曼掩模技術(shù)，是一種獲得專li的波前傳感技術(shù)。它以其高空間分辨率，無(wú)需中繼透鏡即可測(cè)量發(fā)散光束的能力和消色差而脫穎而出。該技術(shù)于2004年由Phasics在市場(chǎng)上推出，現(xiàn)在因其性能和易于集成而獲得國(guó)際認(rèn)可。

★SID4 UV HR紫外波前傳感器特點(diǎn)

在190nm ~ 400nm的紫外波段，SID4 UV HR波前分析儀具備高分辨率(512x512測(cè)量點(diǎn))和高靈敏度。使用范圍包括并不局限適用于光學(xué)元件表征(光刻、半導(dǎo)體)和表面測(cè)量(透鏡和晶圓)。

★SID4 UV HR紫外波前傳感器參數(shù)

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