Xeryon多軸壓電納米平移臺可搭配線性、垂直、旋轉(zhuǎn)位移臺臺，具備大行程（10-150mm）,高分辨,高速的特點(diǎn)。

• 分辨率高達(dá)5nm（線性），3µrad（旋轉(zhuǎn)）

• 速度高達(dá)1000mm/s（線性）720°/s（旋轉(zhuǎn)）

多軸壓電納米平移臺是由超聲波壓電馬達(dá)驅(qū)動，可提供不同行程的精確定位，視頻以XY軸位移臺運(yùn)動為例。

多軸壓電納米位移臺主要特點(diǎn)：

·緊湊：

每段質(zhì)量小于40g

·精確:

分辨率高達(dá)5 nm（線性）和3µrad（旋轉(zhuǎn)）

·快速:

高達(dá)1000mm /s（線性）和720°/s（旋轉(zhuǎn)）

·耐用:

>壽命1000公里（直線），>壽命1000萬轉(zhuǎn)（旋轉(zhuǎn)）

多軸壓電納米平臺可以提供XY軸,XYZ三軸，X旋轉(zhuǎn)，XY旋轉(zhuǎn)位移臺。圖為5軸位移臺。

控制器和軟件：

兼容XD-C（單軸）和XD-M（多軸）控制器。兼容運(yùn)動控制器，如：

Beckhoff, Omron, Festo， ACS， Elmo等等。

易于使用的Windows界面或LabVIEW驅(qū)動程序。

多種庫，如c++， Python和MATLAB可用。

真空兼容性：

Xeryon有高真空（HV, 10- 6mbar）和超高真空（UHV, 10- 9mbar）兩種型號。

我們提供幾種真空饋通法蘭，包括D-Sub 15針（標(biāo)準(zhǔn)），F(xiàn)ischer 12針和Lemo 12針。

多軸壓電納米位移臺主要應(yīng)用：

·光電子學(xué)

·半導(dǎo)體生產(chǎn)

·醫(yī)學(xué)和材料科學(xué)

·生命科學(xué)與生物技術(shù)學(xué)

·顯微鏡和計量學(xué)

·掃描電子顯微鏡